金屬鎢化學機械研磨清洗缺陷研究及解決方法_科技_網

2017年10月14日-雷(上海華虹宏力半導體制造有限公司,上海 摘要:通過研究金屬鎢化學機械研磨(W CMP)后清洗的一種水痕狀的缺陷(Water mark like defect),...

研磨機械_研磨機械【價格 圖片】_淘寶網研磨機械_淘寶網

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【】一種減少鎢化學機械研磨微刮痕的工藝_

明卿-2006-被引量:1[####]一種減少鎢化學機械研磨微刮痕的工藝,提供一半導體基底,其制作鎢插塞的主要步驟有光阻涂布、微影,蝕刻,用W CVD方法沉積鎢金屬,用W CMP工藝磨去表面的鎢金屬,完成鎢插塞的...[/####] 金屬鎢化學機械研磨清洗缺陷研究及解決方法_

雷-《集成電路應用》-2017[####]通過研究金屬鎢化學機械研磨(W CMP)后清洗的一種水痕狀的缺陷(Water mark like defect),經過一系列的實驗,我們發現這種缺陷產生的原因是具有鎢插塞(W Plug)結構的晶片...[/####] 金屬鎢化學機械研磨清洗缺陷研究及解決方法-集成電路應用2017年08...

金屬鎢化學機械研磨清洗缺陷研究及解決方法,集成電路制造,水痕,化學機械研磨,缺陷。通過研究金屬鎢化學機械研磨(W CMP)后清洗的一種水痕狀的缺陷(Water mark like...

氮氣中球磨鎢和鉬的結構和熱性能:研磨時間和氣氛的..._

Calka,陳安慶-《鎢鉬材料》-1996[####]氮氣中球磨鎢和鉬的結構和熱性能:研磨時間和氣氛的影響 機械合金化氮氣氣氛鎢鉬球磨金屬氮化物摘要: 鎢和鉬的氮化物是很少研究的過渡金屬氮化物。r-Mo2N,δ-MoN,...[/####] 蘇州東金機械金屬有限公司

回到頂部 鎢棒研磨機 鎢棒研磨2 (DGP-PG)...幾乎為0,也不夠其他機械設備的干擾。 ●從電纜...

氮氣中球磨鎢和鉬的結構和熱性能:研磨時間和氣氛的..._

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【樂高直銷Y3絲攻 鎢鋼螺旋絲錐研磨機 工具 磨床磨刀..._阿土伯

2017年12月7日-臺州林隆貿易有限公司提供【樂高直銷Y3絲攻 鎢鋼螺旋絲錐研磨機 工具 磨床磨刀機 刃磨機】LG-Y3,型號...

【鎢針磨尖機】、鎢針磨尖機專題-中國供應商

辰驕機械供應全自動鎢針磨尖機,鋼絲磨針機,規格全價格低 ￥8000.00 河北 ...TIG-SHARP鎢針磨削機 ￥3500.00 上海 TIG SHARP 鎢極磨尖機 鎢針研磨機 ...

鎢的二次資源及其開發前景 -

2014年8月7日-按目前中國商品粗鎢絲和鎢桿的年產量為很多研究工作...成 ; < 機械破碎法 $ 機械破碎法是一種為簡單...而 物經研磨和篩分后,在管狀爐中在 :"" , $ ...

【】鎢化學機械研磨方法_

鄧永平-2009[####]一種鎢化學機械研磨方法,包括:提供具有介電層的半導體結構,在所述介電層中具有開口,在所述開口中和介電層上依次具有金屬阻擋層和鎢金屬層;執行階段化學機械研磨,去除...[/####] 單晶金剛石機械研磨與化學機械拋光工藝-納米技術與精密工程2015年...

2015年3月15日-單晶金剛石機械研磨與化學機械拋光工藝,單晶金剛石;;機械研磨;;化學機械拋光,單晶金剛石在工業、國防等領域的應用日益廣泛,對其加工表面質量的要求不...

機械配件_鎢鋼拋光/拋光加工/機械配件研磨加工 -

鎢鋼鏡面拋光加工/模具拋光加工/機械配件研磨加工,表面處理,這里云集了眾多的供應商,采購商,制造商。...

供應鎢鋼刀片研磨機

供應鎢鋼刀片研磨機,八方資源網云集了眾多的供應商,采購商,制造商。這是供應 供應鎢鋼刀片研磨機 的詳細頁面。 品牌 SY薪鐿 型號 SR-260 形式 電動 電源電壓 ...

金屬鎢化學機械研磨清洗缺陷研究及解決方法 -

2017年8月29日-集成電路應用第34卷第8期(總第87期)017年8月59ProcessandFabrication工藝與制造金屬鎢化學機械研磨清洗缺陷研究及解決方法摘要:通過研究金屬鎢化學機...

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【日本松本機械MAC 鎢機研磨機 TA-60XW 日本原裝進口】..._馬可波羅

馬可波羅網(makepolo.com)提供南京地平線工貿實業有限公司-銷售部相關企業介紹及產品信息主要以日本松本機械MAC 鎢機研磨機 TA-60XW 日本原裝進口為主,還包括了...

鎢鋼研磨設備廠家_鎢鋼研磨設備廠家/公司/鎢鋼研磨設備..._

深圳市精誠信五金機械有限公司 經營模式 : 生產加工...主營產品 : 硬質合金制品;高比重鎢合金;鎢粉系列;...回轉工作臺;立臥分度盤;銑刀研磨機;車刀研磨機;...

超大規模集成電路中鎢插塞的化學機械拋光機理_

劉杰-天津大學-2012[####]鎢插塞化學機械拋光CMP在半導體集成電路中是非常重要工藝,化學機械研磨同樣是一個新型的工藝,在半導體生產的過程中起著舉足輕重的作用,集成電路的前緣技術是在低k...[/####] 化學機械研磨_手機互動百科

研磨制程根據研磨對象不同主要分為:硅研磨(Poly CMP)、硅氧化物研磨(Oxide CMP)、鎢研磨(W CMP)和銅研磨(Cu CMP)。 三 研磨耗材 研磨耗材分為以下幾大類...

東莞鎢鋼研磨配件加工廠 精密機械加工-五金-六安新聞網

6天前-東莞鎢鋼研磨配件加工廠淺談非標設備設計制造要點 非標設備設...... 東莞鎢鋼研磨配件加工廠淺談非標設備設計...甚有對應不同加工工藝都標準機械機構或者...

東莞鎢鋼研磨配件加工廠 精密機械加工-五金-六安新聞網

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粉體工業中常用的破碎工藝與破碎機械

工作原理:被破碎的物料,在兩個相對轉動的圓輥夾縫中...(如鎢、錫礦石)和處理黏性含泥物料的中小型選礦廠...上繼續受到錘子的打擊和研磨,直到破碎所需出料...

金屬鎢化學機械研磨清洗缺陷研究及解決方法_論文_

2018年5月13日-金屬鎢化學機械研磨清洗缺陷研究及解決方法 - Process and Fabrication 工藝與制造 金屬鎢化學機械研磨清洗缺陷研究 及解決方法 雷 (上海華虹宏力半...