【】鎢化學機械研磨方法_

鄧永平-2009[####]一種鎢化學機械研磨方法,包括:提供具有介電層的半導體結構,在所述介電層中具有開口,在所述開口中和介電層上依次具有金屬阻擋層和鎢金屬層;執行階段化學機械研磨,去除...[/####] 【】鎢化學機械研磨方法及鎢插塞的制造方法_

健 李,鄧永平-2009-被引量:2[####]鎢化學機械研磨方法及鎢插塞的制造方法健李鄧永平...[/####] 鎢鋼研磨設備廠家_鎢鋼研磨設備廠家/公司/鎢鋼研磨設備..._

為您找到354條關于鎢鋼研磨設備生產商的工商注冊年份、員工人數、年營業額、信用記錄、主營產品、相關鎢鋼研磨設備產品的供求信息、交易記錄等企業詳情。您還...

研磨生產設備_

輕質碳酸鈣研磨機械 滑石生產設備工藝流程 ￥50000.00 / 臺 上海浦東新區 ...為您提供的研磨生產設備供應商、經銷商、廠家,包括研磨生產設備的參數...

內外墻干粉生產與配方,金礦提煉黃金的機器 - 集團新聞 - 破碎機...

1天前-制砂機械在黑白鎢礦尾礦回收處理中的應用下一篇:...金屬硅粉生產線工藝復雜,主要工藝流程:金屬硅原料...地送入主機磨室進行研磨,粉磨后的粉子被風機...

鎢的二次資源及其開發前景 -

2014年8月7日-鎢桿的年產量 的處理含鎢廢料選冶聯合流程,經工業...成 ; < 機械破碎法 $ 機械破碎法是一種為簡單...而 物經研磨和篩分后,在管狀爐中在 :"" , $ ...

面向納米材料操控的鎢針制備系統與工藝研究_

香凝-《華中科技大學》-2016[####]常用的制備方法有研磨法、剪切法、超高真空場離子...機理與關鍵工藝因素,確定了大長徑比鎢探針制備流程...化大長徑比鎢探針制備裝置,包含機械位移裝置,電控...[/####] 精品課程 IC原理 第1章 集成電路的基本制造工藝_甜夢文庫

2012年9月17日-光刻是集成電路制造過程中復雜 和關鍵的工藝之...利用LPCVD淀積鎢來填充通孔。溫度約 300℃。這可以...化學機械 研拋光 技術化學機械研磨技術(化...

金屬鎢化學機械研磨清洗缺陷研究及解決方法_論文_

2018年5月13日-金屬鎢化學機械研磨清洗缺陷研究及解決方法 - Process and Fabrication 工藝與制造 金屬鎢化學機械研磨清洗缺陷研究 及解決方法 雷 (上海華虹宏力半...

單晶金剛石機械研磨與化學機械拋光工藝-納米技術與精密工程2015年...

2015年3月15日-單晶金剛石機械研磨與化學機械拋光工藝,單晶金剛石;;機械研磨;;化學機械拋光,單晶金剛石在工業、國防等領域的應用日益廣泛,對其加工表面質量的要求不...

碳化鎢研磨機 - 礦山機械百科

以及獨特的進出料簡潔流程,的節能降耗性能,理想...鎢合金焊條用碳化鎢過渡堆焊金屬含鎢,工藝精良脫渣...碳化鎢研磨機 --- 礦山機械百科 src="/liebiaos/img/mf/869.jpg" />

金屬鎢化學機械研磨清洗缺陷研究及解決方法_科技_網

2017年10月14日-雷(上海華虹宏力半導體制造有限公司,上海 摘要:通過研究金屬鎢化學機械研磨(W CMP)后清洗的一種水痕狀的缺陷(Water mark like defect),...

化學機械研磨工藝的優化方法

本發明公開了一種化學機械研磨工藝的優化方法,該方法...采用離子束沉積工藝在SiN的表面形成金屬鎢,然后按照...滿足工藝標準,則調整當前的CMP工藝參數,并執行步驟A...

混合研磨劑型的鎢化學機械拋光組合物

化學機械拋光包括鎢層的基板的方法,包括使該基板與上述拋光組合物接觸,相對于該基板移動該拋光組合物,及研磨該基板以從該基板移除一部分所述鎢并從而拋光該基板。...

機械金工實習報告

2014年12月8日-在鉗工實訓中,我了解了鉗工的方要內容是為劃線、鏨削、銼削、研磨、鉆孔、擴孔...1. 通過這次實習我們了解了現代機械制造工業的生產方式和工藝過程。...

鎢電極研磨工藝的機械化_

蘇曉鷹-《電焊機》-2004[####]前 言作為重復性好、高質量TIG焊的一個重要參數,電極加工的重要性常常被人們忽略。可以論證,熔焊重要的因素是熔敷的一致性。盡管焊道的幾何形狀和冶金 特性受很多因...[/####] 【】納米級鎢鈷混合粉末的生產工藝_

金益民-CN-2005-被引量:5[####]本發明涉及一種制取納米級鎢鈷混合粉末的工藝。它主要包括以下連續步驟:配制一定濃度的偏鎢酸銨溶液,加入一定量的碳酸鈷粉末,加熱、攪拌,充分反應后,將所得復合鹽溶液冷...[/####] 【】一種減少鎢化學機械研磨微刮痕的工藝_

明卿-2006-被引量:1[####]一種減少鎢化學機械研磨微刮痕的工藝,提供一半導體基底,其制作鎢插塞的主要步驟有光阻涂布、微影,蝕刻,用W CVD方法沉積鎢金屬,用W CMP工藝磨去表面的鎢金屬,完成鎢插塞的...[/####] 金屬鎢化學機械研磨清洗缺陷研究及解決方法_

雷-《集成電路應用》-2017[####]通過研究金屬鎢化學機械研磨(W CMP)后清洗的一種水痕狀的缺陷(Water mark like defect),經過一系列的實驗,我們發現這種缺陷產生的原因是具有鎢插塞(W Plug)結構的晶片...[/####] 【】化學機械研磨方法 Chemical mechanical poli..._

江志琴-2013[####]本發明公開了一種化學機械研磨方法,用于研磨溝槽上方的金屬,包括主研磨和研磨去除剩余金屬的步驟,當溝槽上方金屬厚度大于等于15千埃時,該方法包括:主研磨溝槽上方預定厚...[/####] 我國鎢工業科技創新工作的主要課題

2采選 (1)全面提高機械化程度和裝備水平,廣泛應用...(4)分解白鎢礦工藝流程、設備的研究; (5)含鎢催化...(包括研磨、涂層和其他后處理技術)及其設備和使用...

粉體工業中常用的破碎工藝與破碎機械

粉體工業中常用的破碎工藝與破碎機械粉體圈 2016-...(如鎢、錫礦石)和處理黏性含泥物料的中小型選礦廠...上繼續受到錘子的打擊和研磨,直到破碎所需出料...

研磨機械_研磨機械【價格 圖片】_淘寶網研磨機械_淘寶網

淘寶網為您找到927件研磨機械相關的寶貝。... 研磨機械”商品 紅丹粉工業機床刮研用研磨用紅丹粉機械磨具用粉包郵0.25公斤 ￥13.00 天上飛的一只鵝月銷: 173 ...

《機械加工工藝規程設計 》(書+光盤)_林艷華 主編 _孔夫子舊書網

4生產過程與組織8 1 4 1生產過程和工藝過程8 1 4 2生產類型8 1 4 3組織... 鎢化學機械研磨方法及鎢插塞的制造方法 232. 由滾軋的...

半導體制程培訓cmp和蝕刻pptx -

化學機械平坦化 (Chemical‐Mechanical Planarization, CMP) ,又稱化學機械研磨(...氧化物磨料金屬鎢磨料金屬銅磨料特殊應用磨料 半導體制造工藝流程氧化硅拋光氧化硅...

【】研磨液配制方法、研磨液以及金屬鎢的cmp方法_

彭澎,潘繼崗-2011[####]本發明公開了一種配制研磨液的方法,將成品研磨液W2000與水按照重量比1∶21∶4范圍內的任意比例混合,并向混合物中添加濃度為31%的過氧化氫水溶液,使得終過氧化氫的質...[/####] 金屬鎢化學機械研磨清洗缺陷研究及解決方法-集成電路應用2017年08...

金屬鎢化學機械研磨清洗缺陷研究及解決方法,集成電路制造,水痕,化學機械研磨,缺陷。通過研究金屬鎢化學機械研磨(W CMP)后清洗的一種水痕狀的缺陷(Water mark like...

04-機械加工工藝.pdf 全文-能源/化工-文檔在線

2015年3月12日-研磨過程中金屬塑性變形小,切削力小、切削熱少,表 變形層薄, 切削運動復雜,...· 機械制造基礎 (下冊)——機械加工工藝基礎 脹開,以便調整珩磨頭的工...

【】一種層狀增韌鎢及其制備方法_

索進平,張穎,劉大為-2015[####]本發明公開了一種層狀增韌鎢及其制備方法,屬于結構材料領域。層狀增韌鎢包括相互交替層疊的鎢層和增韌層,增韌層包括金屬鉭片。制備該層狀增韌鎢的方法包括:S1將鎢粉在惰...[/####] 鎢鋼研磨設備廠家_鎢鋼研磨設備廠家/公司/鎢鋼研磨設備..._

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