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寫作時(shí)間:2006-12-20文章來源: 采石場設(shè)備網(wǎng) 文章作者:本站編輯
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昭和微調(diào)機(jī)SFE6230,SFE6430,7051報(bào)警提示:達(dá)到 L 段設(shè)置的值(20K)或更低。 檢查項(xiàng)目 再生操作。 檢查 N2 的排氣閥和冷凝泵的安全閥時(shí)候沒有泄露。 檢查確認(rèn)沒有灰塵在抽氣閥里(主抽閥,輔抽閥,N2,導(dǎo)入閥等等。 ) 檢查確認(rèn)冷凝泵的溫度計(jì)電源打開,連接處完好。 012 CP Regeneration is not finished 原因 N2 輸入操作兩次但是冷凝泵再生的壓力檢查沒有完成。 檢查項(xiàng)目 檢查 N2 的供給壓力(0.03Pa) 。 檢查 N2 的排氣閥和冷凝泵的安全閥時(shí)候沒有泄露。 檢查確認(rèn)沒有灰塵在抽氣閥里(主抽閥,輔抽閥,N2,導(dǎo)入閥等等。 ) 檢查確認(rèn)冷凝泵的皮拉尼真空計(jì)電源打開,連接處完好。 013 CP REGENE Error:CP Pumping is unfinished 原因 再生操作的時(shí)。

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